マクセル

電池開発で培った高分子技術を核に産業用機器まで事業を拡大しているメーカーです。ここでは、マクセルの水素製造装置の特徴や導入事例について解説します。

画像引用元：マクセル公式HP（https://www.maxell.co.jp/）

マクセルの水素製造装置の特徴

パラジウム膜で
超高純度水素を安定供給

パラジウム合金水素分離膜を内蔵した高純度タイプ（HGU-100P／200P）は、純水を電気分解した後に膜通過精製を行うことで、超高純度の水素を連続供給できます。

半導体ウェハーやフォトマスクの微粒子除去、金属部品の水素雰囲気熱処理など、純度が洗浄品質に直結する工程で安定した性能を発揮します。

原料は純水のみで薬品を必要としないため消耗コストを抑制でき、装置内の水素滞留量が少ない構造と多重アラームにより、高い安全性を確保したまま連続運転が可能です。

SEMI準拠設計で
製造ラインとの高い互換性

小型タイプHGU-36ENをはじめとする一部モデルは、半導体製造装置の世界標準であるSEMI規格に準拠し、CEマークとRoHS適合も取得。

クリーンルーム内での電気安全・電磁両立性が保証されるため、装置のインターロックや排気ダクトとの接続など製造ラインへの工程にもスムーズに導入できるでしょう。

マクセルの水素製造装置

HGU-100P（高純度タイプ）

画像引用元：マクセル公式HP（https://biz.maxell.com/ja/tokki/h2generator.html）

スペックから読み解く現場導入と事業拡張のメリット

精密な電池・部材メーカーとしてのノウハウが詰まったマクセルの水素発生装置は、安全性で現場の負担を取り除き、クリーンな生産環境（脱炭素）の基盤を作ります。

① 法律・メンテ面：50〜300kPaの超低圧設計と廃液ゼロ（現場メリット）
発生圧力が50〜300kPa（0.05〜0.3MPa）の範囲で任意の圧力に設定できるため、高圧ガス保安法の適用外となります。管轄官庁への複雑な申請手続きや、有資格者の専任が不要になり、導入までのリードタイムとコストを大幅に削減できます。
また、固体高分子電解質膜（PEM）を採用し、電気伝導率0.2μS/cm以下の純水のみで電気分解を行うため、アルカリ方式のような危険な薬液の補充や廃液処理が一切不要です。現場の作業者の安全を守りつつ、純度99.99％以上のクリーンな水素を供給します。

② 運用・管理面：充実したアラーム機能による安全ガバナンス（経営メリット）
工場や研究施設における無人稼働において「異常時の対応」は経営上の重大なリスクです。本機は多くの安全用アラーム機能を標準装備しており、異常を即座に検知してシステムを安全に停止させるフェイルセーフ機構が充実しています。
これにより、現場の監視人員（人件費）を増やすことなく、全社的な安全ガバナンスを維持したままオンサイト水素の導入（BCP対策・Scope削減）という戦略的投資を進めることが可能です。

HGUの主な用途

半導体基板洗浄用の水素水製造を皮切りに、酸素・水素炎バーナー、マイクロ波プラズマCVDによる人工ダイヤモンド合成、再エネ由来水素蓄電・燃料電池評価など、用途はさまざまです。クリーンで安定した水素源として採用されています。

マクセルの水素製造装置の事例

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マクセルの基礎情報

電池事業で培った材料技術を基盤にデバイスや光学部品まで事業領域を拡大し、現在はエネルギー、ライフソリューション、産業部材を柱にアナログコア技術の研究開発も推進しています。サステナブル経営を掲げ、再生可能エネルギーや水素関連製品の研究開発も強化しています。